【电-集成电路-
造】
光刻
（für Wafer， mit Elektronenstrahlschreiber 用，用电子射线笔）
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晶光刻机（für Wafer， mit Elektronenstrahlschreiber 晶
，电子射线笔）
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【
-集成路-
】
圆光刻机（für Wafer， mit Elektronenstrahlschreiber 圆用，用
子射线笔）
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路-造】
刻机（für Wafer， mit Elektronenstrahlschreiber 用，用子射线笔）
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光刻机（für Wafer， mit Elektronenstrahlschreiber ，电子射线笔）
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圆光刻机（für Wafer， mit Elektronenstrahlschreiber 圆用，用子射线笔）
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光刻机（für Wafer， mit Elektronenstrahlschreiber 用，用子射线笔）
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晶圆光刻机（für Wafer， mit Elektronenstrahlschreiber 晶圆，子射线笔）
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