A new fabrication method for hollow microneedle array is proposed with three times exposures in deep X-ray lithography of synchrotron radiation and the development procedure.
摘要提出了一种新的
针阵
加工
法，
用三次同步辐射曝光和显影过程来加工针。
定时曝光；长时间曝光；长时间曝光拍摄的照片
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A new fabrication method for hollow microneedle array is proposed with three times exposures in deep X-ray lithography of synchrotron radiation and the development procedure.
摘要提出了一种新的空心微针阵加
方法，利用三次同步辐射曝光和显影过程来加微针。
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定时
；
时间；时间拍摄的照片
；时间；时间拍摄的照片A new fabrication method for hollow microneedle array is proposed with three times exposures in deep X-ray lithography of synchrotron radiation and the development procedure.
摘要提出了一种新的空心微针阵加工方法，利用三次同步辐射和显影过程来加工微针。
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定
光；长
光；长光拍摄的照片
光；长光；长光拍摄的照片A new fabrication method for hollow microneedle array is proposed with three times exposures in deep X-ray lithography of synchrotron radiation and the development procedure.
摘要提出了一种新的空心微针阵加工方法，利用三次同步辐射光和显影过程来加工微针。
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A new fabrication method for hollow microneedle array is proposed with three times exposures in deep X-ray lithography of synchrotron radiation and the development procedure.
摘要提出了一种新的空
阵加法，利用三次同步辐射曝光和显影过程来加。
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词A new fabrication method for hollow microneedle array is proposed with three times exposures in deep X-ray lithography of synchrotron radiation and the development procedure.
摘要提出了一种新的空心针阵
方法，利用三次同步辐射曝光和显影过程来针。
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